日本大金 NEOFLON PFA AP-231SH、Daikin AP-231SH 半导体超高纯厚壁 PFA、大金 AP231SH 耐应力开裂 高纯氟树脂、PFA AP-231SH 端基全氟化低析出 SEMI F57、大金 AP-231SH 高压波纹管蚀刻管路专用粒料、PFA AP-231SH 厚壁管材洁净挤出、AP-231SH 传递模塑高纯阀泵、AP-231SH 大型清洗槽内衬成型、半导体洁净室专用 PFA、镜面镀铬高纯模具加工、12 寸半导体高压厚壁药液管、动态弯折波纹管、大型蚀刻清洗槽内衬、高压 PFA 隔膜阀泵体、CMP 研磨液输送系统、晶圆厂高压流体配件
NEOFLON 是日本大金氟化工旗舰氟树脂系列,PFA 为 TFE + 全氟烷基乙烯基醚共聚物,兼具 PTFE 耐化学 / 耐高温性能,同时支持熔融注塑、挤出热塑性加工,弥补 PTFE 只能模压烧结的短板大金氟化工(中国)有限公司。NEOFLON 是日本大金氟化工旗舰氟树脂系列,PFA 为 TFE + 全氟烷基乙烯基醚共聚物,兼具 PTFE 全氟耐化学、260℃长期耐高温优势,同时支持熔融注塑、挤出热塑性成型,弥补 PTFE 仅能模压烧结的短板。NEOFLON 是日本大金氟化工旗舰氟树脂系列,PFA 为 TFE 四氟乙烯 + 全氟烷基乙烯基醚共聚物,兼具 PTFE 全氟耐化学、-200~260℃宽温稳定优势,同时属于热塑性氟塑料,可熔融注塑、挤出、模压成型,弥补 PTFE 仅能烧结加工的短板Daikin Chemicals Division。NEOFLON 是大金氟化工旗舰氟树脂系列,PFA 为 TFE + 全氟烷基乙烯基醚共聚物,兼顾 PTFE 全氟耐化学、-200~260℃宽温稳定优势,同时支持熔融注塑、挤出成型。NEOFLON 是日本大金氟化工旗舰氟树脂系列,PFA 为 TFE 四氟乙烯 + 全氟烷基乙烯基醚共聚物,兼具 PTFE 全氟耐化学、-200~260℃宽温稳定优势,同时属于热塑性氟塑料,可熔融挤出、传递模塑成型,弥补 PTFE 仅能烧结加工短板Daikin Chemicals Division。
AP-231SH 定位:半导体专用低流动超高纯厚壁 PFA(SH=Super High purity 超纯系列顶配)
形态:半透明乳白色无尘洁净颗粒,原厂真空 25kg 洁净包装,全程无尘聚合、分装,杜绝外部杂质污染;
核心定位:分子链末端全部氟化封闭,无活性羧基,金属离子、氟离子、微粒溶出控制在 ppb 级别,完全满足 SEMI F57 半导体高纯标准;全系 SH 级 熔体强度、 耐应力开裂、抗高温蠕变,专攻3mm 以上厚壁高压管路、大型设备内衬、动态弯折波纹管、高压阀泵壳体,7~2nm 先进湿法制程高压流体系统标杆原料;
合规认证:SEMI F57 半导体高纯标准、FDA 21 CFR.177.1550 食品接触、UL94 V-0 无卤阻燃、长期 260℃连续耐热、ISO10993 医疗生物相容;
大金 NEOFLON PFA 完整产品线划分
通用工业 AP 普通系列:AP-201/202/210/230(ppm 级析出,通用电子、化工防腐、食品)
超纯 SH 半导体顶配系列:AP-201SH/211SH/231SH(末端全氟化,ppb 级低析出,晶圆、高压高纯蚀刻管路)
抗静电 AS 防爆系列:AP-230AS( 防静电 10⁶~10⁹Ω,防爆药液、粉体输送管路)
大金PFA半导体零部件实拍
三、AP-231SH 标准物性参数(原厂 TDS ASTM 国际标准典型值)
表格
性能分类 测试项目 实测数值 测试标准 补充备注
基础物理性能 密度 2.14g/cm³ ASTM D792 全氟树脂标准密度,半透明可视内部洁净缺陷Daikin Chemicals Division
熔融指数 MFR 2.0g/10min(372℃/5kg) ASTM D3307 SH 系列 流动性,熔体强度全系 Daikin Chemicals Division
熔点 Tm 304℃ DSC 标准加工区间 340~410℃Daikin Chemicals Division
吸水率 <0.01% ASTM D570 几乎不吸水,高纯流体无稀释污染
成型收缩率 3.0~6.2% 企业标准 厚壁高压模具收缩预留参考
机械性能 拉伸屈服强度 36MPa ASTM D1708 全系 PFA 拉伸强度,长期高压抗蠕变Daikin Chemicals Division
断裂伸长率 360% ASTM D1708 超高韧性,动态弯折数十万次无裂纹Daikin Chemicals Division
耐应力开裂时长 >2000h 大金内部标准 大金 PFA 全系抗裂性能天花板,冷热循环不龟裂Daikin Chemicals Division
弯曲模量 690MPa ASTM D790 刚性 ,厚壁大件长期承压不变形
邵氏 D 硬度 62D ASTM D2240 刚韧平衡,高压密封垫片回弹稳定
热性能 连续使用温度 -200℃~260℃ 大金企业标准 短期瞬时峰值耐温 300℃,高温蚀刻长期稳定Daikin Chemicals Division
极限氧指数 LOI 95% ASTM D2863 等级不燃,UL94 V-0 (1.57mm)
电气高频性能 介电常数 (1MHz) 2.1 ASTM D150 全氟 介电常数,高压洁净线缆阻抗稳定
介电损耗因子 0.0002 ASTM D150 高频测试线缆无信号失真
击穿强度 ≥60kV/mm ASTM D149 高绝缘,半导体高压设备安全
半导体高纯核心指标 金属离子溶出 <1ppb SEMI F57 Na、K、Ca、Fe、Al 等杂质极低,杜绝晶圆金属污染
氟离子溶出 ppb 级 大金洁净检测 避免蚀刻药液浓度偏移、芯片良率下滑
微粒析出 <30 颗粒 / L(≥0.05μm) 洁净检测 超纯流体无颗粒缺陷,适配先进制程
耐候耐化学 耐化学介质 耐受氢氟酸、王水、光刻液、显影液、强碱、有机溶剂 腐蚀测试 全氟惰性,无溶胀、降解、介质吸附
户外耐候老化 20 年力学衰减<3%、无粉化开裂 ISO 4892 海上、高温晶圆厂环境长效稳定
四、AP-231SH 材料核心特性
末端全氟化顶配超高纯,先进制程良率保障
区别普通工业 AP(分子末端不稳定羧基,ppm 级离子析出),AP-231SH 分子末端完全氟化封闭,无活性反应基团;金属离子、氟离子、微粒溶出控制至 ppb 级别,完全符合 SEMI F57 严苛标准,杜绝晶圆表面金属缺陷、蚀刻药液杂质超标,12 寸 7~2nm 高压湿法设备 优选厚壁高纯牌号。
超低流动 + 熔体强度,厚壁成型无缺陷
MFR 仅 2.0,长分子链带来 熔体强度,DN25 以上大口径厚壁管材挤出无垂挂、无熔体破裂;大型模压清洗槽内衬、高压阀泵壳体成型无气泡、无缩坑,长期高温承压不蠕变下垂,解决普通高流动 PFA 厚壁件长期渗漏痛点Daikin Chemicals Division。
行业 耐应力开裂,动态弯折 / 冷热循环专用
耐应力开裂时长超 2000h,远超 AP-211SH、AP-230;半导体设备冷热交替冲击、高压流体、药液长期浸泡、波纹管反复动态弯折工况, 无龟裂、无渗漏,大幅降低晶圆厂停机维护成本Daikin Chemicals Division。
-200~260℃超宽温刚韧平衡,全温区湿法适配
-200℃极低温冷却槽不脆裂,260℃高温蚀刻、134℃反复蒸汽灭菌长期保持 85% 以上机械强度;冷热循环、高低温药液切换尺寸零漂移,波纹管、伸缩补偿节长效耐用。
全氟 化学惰性,广谱半导体腐蚀介质稳定
耐受氢氟酸、硫酸、氨水、各类光刻 / 剥离 / CMP 抛光浆料,内壁光滑低吸附,药液残留极少,清洗频次大幅降低;无有机析出、无离子污染,保障药液配比精准稳定。
高频高绝缘 + 无卤阻燃,高压洁净特种线缆适配
低介电损耗、超高击穿电压,长期 260℃高温绝缘性能不衰减;极限氧指数 95%,明火自熄、低烟无卤,井下探测、晶圆厂高压洁净护套专用。
五、AP-231SH 标准加工工艺(洁净室专属成型,不适合微型薄壁注塑)
1、厚壁高纯管材 / 高压波纹管挤出(核心主力工艺)
料筒温度:340~390℃;模头 380~410℃
模具温度:180~230℃,模具必须镜面镀铬 + 洁净抛光,全套设备专用、严禁混用普通工业级原料
适用制品:DN25~DN300 大口径高压直管、动态伸缩波纹管、热交换器防腐厚壁管
工艺要点:万级 / 千级洁净室生产;低速稳定挤出、多级真空高精度定型;降温速率放缓,降低内部应力,从根源减少后期开裂风险。
2、传递模塑 / 压缩模压成型(大型内衬、高压阀泵壳体)
温度 350~400℃,压力 8~15MPa,保温 20~40min;生产 3~20mm 厚高纯板材、大型蚀刻清洗槽内衬、高压隔膜阀整体衬套、大流量过滤器壳体。
3、厚壁高压洁净电缆护套挤出
中低速包覆,适配晶圆厂高温高压特种线缆、海上平台耐腐蚀高压护套、动态弯折探测电缆外层绝缘。
加工禁忌
严禁与 AP 普通工业级、AP-230AS 抗静电级共用料筒、螺杆、模具,交叉污染会直接导致离子溶出超标、晶圆报废;
成型温度严禁超过 410℃,高温下分子链断裂,产生氟化氢腐蚀性气体,同时生成微量金属杂质;
不适合 0.8mm 以下微型薄壁、多筋小型注塑件,流动性不足,极易出现缺料、熔接痕强度不足问题。
六、AP-231SH 细分应用领域(半导体高压厚壁流体系统核心赛道)
1、半导体 12 寸晶圆高压湿法流体系统( 应用)
DN25 及以上大口径厚壁超纯 PFA 直管、动态伸缩高压波纹管、冷热循环补偿节;
高压隔膜阀、大流量泵体内衬、CMP 化学抛光浆料输送管路、蚀刻高温药液分配系统;
7~2nm 先进制程,高压、动态弯折、冷热交替工况,杜绝管路龟裂漏液污染晶圆。
2、大型高纯清洗 / 反应设备内衬
12 寸晶圆大型批量清洗槽内衬、酸碱蚀刻浸泡槽衬板、高纯药液混合缓冲储罐;
半导体热交换器防腐内衬、大流量过滤设备外壳、高压微量分配器厚壁配件。
3、半导体高压承载与密封部件
大尺寸厚壁晶圆承载框、高压工艺腔密封垫片、动态伸缩管路接头、防腐法兰衬套;
长期高压、反复拆装、蒸汽灭菌无析出、不变形。
4、高端生物医药高纯厚壁设备(拓展应用)
GMP 无菌原料药反应釜内衬、高温高压药液输送厚壁管路、大容量无菌储液罐;
可 134℃反复蒸汽灭菌、无塑化剂、低金属离子析出,适配高端生物制药精密制程。
5、特种高压高温洁净线缆
晶圆厂高温高压设备护套、海上平台耐腐蚀探测电缆外层绝缘、动态弯折高频洁净射频线缆;
260℃长期耐热、耐海水腐蚀、低介电损耗,信号传输稳定无干扰。
七、大金 NEOFLON PFA 主流牌号性能 & 用途对比
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牌号 等级 MFR(372℃/5kg) 核心特性 成型工艺 典型应用
AP-231SH 半导体顶配厚壁超纯级 2.0 末端全氟化 ppb 级低析出,熔体强度 、耐应力开裂全系 、抗高温蠕变 厚壁洁净挤出、传递模压 12 寸高压厚壁药液管、动态波纹管、大型清洗槽内衬、高压阀泵【半导体高压厚壁专用】
AP-211SH 半导体标准均衡超纯级 14 流动 / 韧性均衡,ppb 低析出,兼顾注塑与薄壁管材 洁净注塑 + 薄壁高纯挤出 标准口径晶圆花篮、中小型蚀刻管路、微型精密阀件【半导体通用均衡主力】
AP-201SH 半导体高流动微型超纯级 28 超高流动性,微型小件快速充模,洁净低析出 洁净注塑、极细洁净细线 微型半导体接头、AWG34 以上超微洁净射频线、小型过滤器
AP-230 通用工业厚壁高韧级 2.0 低流动高熔体强度,普通 ppm 级析出,性价比高 厚壁挤出、模压 化工高压厚壁管道、大型防腐储罐内衬、普通工业波纹管【无半导体高纯要求】
AP-210 通用工业标准均衡级 14 流动韧性均衡,ppm 析出,注塑挤出两用 注塑 + 挤出 + 模压 常规射频线缆、中小型化工阀管、食品批量件【工业通用均衡款】
AP-201 通用工业高流动薄壁级 28 超高流动性,微型复杂小件成型快,普通纯度 注塑、极细电线 普通微型连接器、小型防腐管件、消费电子细线
AP-230AS 抗静电防爆工业级 2.0 防静电 10⁶~10⁹Ω,普通工业纯度 挤出 / 模压 防爆化工高压管路、静电敏感有机溶剂储罐内衬、粉体输送管道
高纯 SH 系列三牌号(201SH/211SH/231SH)横向对比
表格
指标 AP-201SH AP-211SH AP-231SH
流动性 极高 中等标准 极低
熔体强度 低 中等 全系
耐应力开裂 良好 优秀
适配壁厚 0.1~0.8mm 微型薄壁 0.2~3mm 全规格通用 3mm 以上厚壁、大型内衬、高压波纹管
动态弯折寿命 一般 良好 翻倍超长寿命
适用制程 成熟制程微型小件 7~2nm 全制程标准设备 12 寸先进制程高压动态流体设备
成本 中高 中等高纯性价比 高纯顶配高价
八、选型区分总结
选 AP-231SH:生产DN25 以上厚壁高压药液管、动态伸缩波纹管、大型蚀刻清洗槽内衬、高压隔膜阀 / 泵体,核心需求 ppb 级超低离子析出、长期高压冷热循环不开裂、抗高温蠕变、动态弯折长效稳定,适配 12 寸先进半导体湿法制程;
选 AP-211SH:制造标准口径高纯管路、晶圆花篮、中小型精密阀件,兼顾注塑与薄壁管材,流动、韧性、成本均衡,绝大多数标准半导体设备通用 ;
选 AP-201SH:仅生产微型超小型半导体接头、AWG34 以上极细洁净射频细线,追求高速充模、缩短注塑成型周期;
选 AP 普通工业级(201/210/230):无半导体 ppb 级离子管控要求,通用化工、食品、普通电子线缆,采购成本更低;
选 AP-230AS:防爆化工、静电敏感有机溶剂 / 粉体高压输送管路,需要 抗静电防爆性能。
选 AS 导电级(230AS):防爆化工、静电敏感有机溶剂输送,需要 抗静电。







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